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检测标准：

1 砷化氢纯度 GB/T 26250-20104.2 砷化氢纯度

2 氧+氩含量 GB/T 26250-20104.4 氧+氩含量

3 氮含量 GB/T 26250-20104.4 氮含量

4 磷化氢含量 GB/T 26250-20104.8 磷化氢含量

5 总杂质含量 GB/T 26250-2010 总杂质含量

6 颗粒 GB/T 26250-20104.9 颗粒

7 金属离子 GB/T 26250-20104.1 金属离子

8 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.2 砷化氢纯度

9 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.4 氧+氩含量

10 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.4 氮含量

11 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.8 磷化氢含量

12 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-2010 总杂质含量

13 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.9 颗粒

14 电子工业用气体 砷化氢 GB/T 26250-20104.1 金属离子