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检测标准：

1 颗粒 GB/T 17874-20104.8 颗粒

2 总杂质含量 GB/T 17874-20104.2 总杂质含量

3 金属离子 GB/T 17874-20104.7 金属离子

4 三氯化硼纯度 GB/T 17874-20104.2 三氯化硼纯度

5 氧+氩含量 GB/T17874-2010附录A 氧+氩含量

6 氮含量 GB/T17874-2010附录A 氮含量

7 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T 17874-20104.8 颗粒

8 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T 17874-20104.2 总杂质含量

9 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T 17874-20104.7 金属离子

10 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T 17874-20104.2 三氯化硼纯度

11 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-2010附录A 氧+氩含量

12 电子工业用气体 三氯化硼 GB/T17874-2010附录A 氮含量