电子工业用气体四氟化硅检测-材料分析及检测

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检测标准：

1 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 28726-2012 As、B、P

2 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T 28727-2012 二氧化硫含量

3 环境空气 二氧化硫的测定 四氯汞盐吸收-副玫瑰苯胺分光光度法 HJ 483-2009 二氧化硫含量

4 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 28726-2012 六氟二甲基硅醚

5 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T 31058-2016 4.2 四氟化硅纯度

6 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T 31058-2014 4.2 总杂质含量

7 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 28726-2012 4.3 氮含量

8 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 GB/T 28727-2012 硫化氢含量

9 电子工业用气体 四氟化硅 GB/T 31058-2016 颗粒

10 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法 二氧化硫含量

11 电子工业用气体 四氟化硅 As、B、P

12 气体分析 氦离子化气相色谱法 甲烷含量

13 电子工业用气体 四氟化硅 总杂质含量

14 电子工业用气体 四氟化硅 颗粒

15 电子工业用气体 四氟化硅 六氟二甲基硅醚